晶盛機電：第三代半導體材料外延設備完成技術(shù)驗證

2020-11-18 08:48:43來源：騰訊

晶盛機電近日接受調(diào)研時表示，公司目前已形成8英寸硅片晶體生長、切片、拋光、外延加工設備全覆蓋，產(chǎn)品已經(jīng)批量進入客戶產(chǎn)線，國產(chǎn)化加速

晶盛機電近日接受調(diào)研時表示，公司目前已形成8英寸硅片晶體生長、切片、拋光、外延加工設備全覆蓋，產(chǎn)品已經(jīng)批量進入客戶產(chǎn)線，國產(chǎn)化加速落地;12英寸硅片晶體生長爐小批量出貨，12英寸加工設備的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化也在加速推進。

公司已經(jīng)開發(fā)出第三代半導體材料SiC長晶爐、外延設備，其中SiC長晶爐已經(jīng)交付客戶使用，外延設備完成技術(shù)驗證，產(chǎn)業(yè)化前景較好。

關鍵詞：晶盛機電第三代半導

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